加热灯的电流监测方法及装置、反应腔室
授权
摘要
本发明提供一种加热灯的电流监测方法及装置、反应腔室，包括以下步骤：S1，实时采集在工艺进行中的当前输出电流值；S2，判断当前输出电流值是否发生变化，若否，则返回步骤S1；若是，则计算自当前输出电流值之前的预设时间段内的平均电流值；S3，判断平均电流值是否在容差范围内，若是，则返回步骤S1；若否，则进行电流异常报警。这与现有技术中判断当前输出电流值是否超出容差范围相比，可以忽略正常的偶发冲击电流，从而可以避免对偶发的冲击电流产生误报警，进而可以提高电流监测的可靠性。
基本信息
专利标题 ：
加热灯的电流监测方法及装置、反应腔室
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN110376416A
申请号 ：
CN201810332138.X
公开（公告）日 ：
2019-10-25
申请日 ：
2018-04-13
授权号 ：
CN110376416B
授权日 ：
2022-05-27
发明人 ：
苏运坤
申请人 ：
北京北方华创微电子装备有限公司
申请人地址 ：
北京市北京经济技术开发区文昌大道8号
代理机构 ：
北京天昊联合知识产权代理有限公司
代理人 ：
彭瑞欣
优先权 ：
CN201810332138.X
主分类号 ：
G01R19/00
IPC分类号 ：
G01R19/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01R
测量电变量；测量磁变量
G01R19/00
用于测量电流或电压或者用于指示其存在或符号的装置
法律状态
2022-05-27 ：
授权
2019-11-19 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01R 19/00
申请日 : 20180413
申请日 : 20180413
2019-10-25 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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