监视装置、监视方法和计算机可读存储介质
授权
摘要
本发明提供监视装置、监视方法和计算机可读存储介质。所述监视装置(1)包括：拍摄部(11)，将炉膛内衬(24)作为拍摄对象，进行多次拍摄；图像选择部(16)，从拍摄部拍摄的多个图像之中，选择与基准图像最相关的图像作为分析对象图像；以及状态判定部(17)，通过分析图像选择部选择的分析对象图像，来判定蒸镀装置(2)的状态。利用这种结构，可以高精度地判定蒸镀装置的状态。
基本信息
专利标题 ：
监视装置、监视方法和计算机可读存储介质
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN108977790A
申请号 ：
CN201810473208.3
公开（公告）日 ：
2018-12-11
申请日 ：
2018-05-17
授权号 ：
CN108977790B
授权日 ：
2022-04-12
发明人 ：
山田实千住直辉
申请人 ：
日立造船株式会社
申请人地址 ：
日本大阪府
代理机构 ：
北京信慧永光知识产权代理有限责任公司
代理人 ：
鹿屹
优先权 ：
CN201810473208.3
主分类号 ：
C23C14/52
IPC分类号 ：
C23C14/52 C23C14/30
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/52
观察镀覆工艺的装置
法律状态
2022-04-12 ：
授权
2020-03-31 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : C23C 14/52
申请日 : 20180517
申请日 : 20180517
2018-12-11 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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