本发明公开了一种CVI/CVD工艺尾气的回收装置和方法，包括降温过滤设备、真空泵、等温裂解炉和后期综合处理设备，降温过滤设备包括循环液体降温模块，油过滤器和干燥过滤器；等温裂解炉内底部安置预热区模块，预热区模块上方设置等温区模块。所述预热区模块为多层迷宫式石墨板。等温区模块下部为延时缓冲区，等温区模块上部为等温区上腔体，等温区上腔体设置多层石墨板结构，石墨板上设置活性炭生长结构，活性炭生长结构表面载有炭黑催化剂。等温裂解炉顶部为气体出口，气体出口通过管道与后期综合处理设备连接。后期综合处理设备包括变压分离器和固体过滤器。本发明是一种处理效率高，安全性能好，生态环境友好度高的CVI/CVD工艺尾气的回收装置和方法。