一种基于PECVD的燃料电池金属极板碳基涂层制备装置
授权
摘要
本发明公开一种基于PECVD的燃料电池金属极板碳基涂层制备装置,包括:反应腔室,其内部具有腔体,腔体内的顶部设有多个射频电极,周侧设有多个加热器,底部设有用于传输工件架的传输导轨;进气系统,包括多个气路和与对应气路连通的多个气孔,气孔均匀分布在各个射频电极的四周;抽气系统,包括抽气机构;工件架,其包括至少一个用于固定安装待处理金属极板的极板挂具。本发明提高了涂层沉积速率、设备产能,降低了制备成本;射频电极及进气方式的布置提高涂层在金属极板表面沉积的均匀性,有利于保证涂层性能稳定性。本发明制备燃料电池金属双极板表面涂层速率快、产能高、质量好,对加快燃料电池产业化进程具有重要意义。
基本信息
专利标题 :
一种基于PECVD的燃料电池金属极板碳基涂层制备装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN108950515A
申请号 :
CN201810628576.0
公开(公告)日 :
2018-12-07
申请日 :
2018-06-19
授权号 :
CN108950515B
授权日 :
2022-04-05
发明人 :
毕飞飞徐一凡姜天豪蓝树槐彭林法
申请人 :
上海治臻新能源装备有限公司
申请人地址 :
上海市浦东新区泥城镇层林路1500号1栋
代理机构 :
上海世圆知识产权代理有限公司
代理人 :
陈颖洁
优先权 :
CN201810628576.0
主分类号 :
C23C16/26
IPC分类号 :
C23C16/26 C23C16/513 H01M4/88
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积工艺
C23C16/22
以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C16/26
仅沉积碳
法律状态
2022-04-05 :
授权
2022-01-07 :
著录事项变更
IPC(主分类) : C23C 16/26
变更事项 : 申请人
变更前 : 上海治臻新能源装备有限公司
变更后 : 上海治臻新能源股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 201306 上海市浦东新区泥城镇层林路1500号1栋
变更后 : 201306 上海市浦东新区自由贸易试验区临港新片区层林路1500号1幢厂房
变更事项 : 申请人
变更前 : 上海治臻新能源装备有限公司
变更后 : 上海治臻新能源股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 201306 上海市浦东新区泥城镇层林路1500号1栋
变更后 : 201306 上海市浦东新区自由贸易试验区临港新片区层林路1500号1幢厂房
2021-08-17 :
著录事项变更
IPC(主分类) : C23C 16/26
变更事项 : 发明人
变更前 : 毕飞飞 徐一凡 姜天豪 蓝树槐 彭林法
变更后 : 毕飞飞 徐一凡 姜天豪 蓝树槐
变更事项 : 发明人
变更前 : 毕飞飞 徐一凡 姜天豪 蓝树槐 彭林法
变更后 : 毕飞飞 徐一凡 姜天豪 蓝树槐
2021-05-07 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : C23C 16/26
申请日 : 20180619
申请日 : 20180619
2018-12-07 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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