管嘴末端适配器、管嘴组件以及管嘴
授权
摘要
本发明提供了管嘴末端适配器、管嘴组件以及管嘴。管嘴末端适配器(12)具有抽吸管道(34)、供给管道(36)以及具有装置端部(18)和基板端部(20)的基部本体(16)。基部本体(16)具有在其基板端部(20)处的用于容纳管嘴末端(14)的管嘴末端凹入部(26)以及延伸到管嘴末端凹入部(26)中的突出部分(30)，其中抽吸管道(34)延伸穿过突出部分(30)，并且供给管道(36)通向管嘴末端凹入部(26)，其中抽吸管道(34)至少部分地被供给管道(36)围绕。此外，示出了管嘴组件(10)和管嘴(60)。
基本信息
专利标题 ：
管嘴末端适配器、管嘴组件以及管嘴
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN109092592A
申请号 ：
CN201810637857.2
公开（公告）日 ：
2018-12-28
申请日 ：
2018-06-20
授权号 ：
CN109092592B
授权日 ：
2022-05-03
发明人 ：
托马斯·格伦德加里·肖凯特卡德·梅基亚斯
申请人 ：
苏斯微技术光刻有限公司
申请人地址 ：
德国加兴
代理机构 ：
北京品源专利代理有限公司
代理人 ：
王瑞朋
优先权 ：
CN201810637857.2
主分类号 ：
B05B13/02
IPC分类号 ：
B05B13/02 B05B14/00 H01L21/67
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B05
一般喷射或雾化；对表面涂覆流体的一般方法
B05B
喷射装置；雾化装置；喷嘴
B05B13/00
不包含在B05B1/00至B05B11/00各组中的，用喷射的方法在物体或其他工件的表面涂布液体或其他流体的机器或设备
B05B13/02
支撑工件的装置；喷头的配置或安装；进给工件装置的改进或配置
法律状态
2022-05-03 ：
授权
2020-05-08 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : B05B 13/02
申请日 : 20180620
申请日 : 20180620
2018-12-28 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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