本发明公开了一种薄膜层叠结构及其制作方法、触控屏，所述薄膜层叠结构的制作方法包括：提供一基板，所述基板上设有走线层；在所述走线层上形成导电层；在所述导电层上形成纳米金属线层；以及进行热压合，使所述导电层填充所述纳米金属线层与所述走线层之间的空隙。在本发明所提供的薄膜层叠结构的制作方法中，导电层经过热压合后填充在走线层与纳米金属线层之间，填满了走线层与纳米金属线层之间的空隙，间接增大了走线层与纳米金属线层的接触面积，降低了走线层与纳米金属线层之间的接触电阻，增强了导电能力。