平面面板显示器制造装置
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摘要
本发明涉及平面面板显示器制造装置。本发明提供一种平面面板显示器制造装置，其具有适合于在高真空下进行玻璃基板的除电的除电装置。本发明的平面面板显示器制造装置具有：处理室，对于玻璃基板施行加工处理；搬送路，形成玻璃基板往处理室搬入搬出的搬入搬出路径；其中，处理室与搬送路处于真空环境下；且在构成搬送路的真空容器的外壁面连接有除电装置，该除电装置用以朝向真空容器的内侧放出用于进行玻璃基板的除电的电子。
基本信息
专利标题 ：
平面面板显示器制造装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN109819570A
申请号 ：
CN201810825295.4
公开（公告）日 ：
2019-05-28
申请日 ：
2018-07-25
授权号 ：
CN109819570B
授权日 ：
2022-06-03
发明人 ：
高桥元喜永尾友一立道润一井内裕
申请人 ：
日新离子机器株式会社
申请人地址 ：
日本京都府
代理机构 ：
隆天知识产权代理有限公司
代理人 ：
黄艳
优先权 ：
CN201810825295.4
主分类号 ：
H05F3/04
IPC分类号 ：
H05F3/04 H01L21/265 B65G49/06
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法律状态
2022-06-03 ：
授权
2019-06-21 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H05F 3/04
申请日 : 20180725
申请日 : 20180725
2019-05-28 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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