含氯化合物的输送方法及装置
授权
摘要
本发明提供一种含氯化合物的输送方法及装置，该方法包括：对含氯化合物溶液进行加热，以使含氯化合物溶液转化为含氯化合物气体；将含氯化合物气体的流量调节至设定值；将含氯化合物气体与氧气混合后输送至反应腔室中，以进行工艺。本发明提供的含氯化合物的输送方法及装置的技术方案，可以实现气体用量的精确控制，提高工艺效率，同时提高整体工艺一致性。
基本信息
专利标题 ：
含氯化合物的输送方法及装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN110836330A
申请号 ：
CN201810928025.6
公开（公告）日 ：
2020-02-25
申请日 ：
2018-08-15
授权号 ：
CN110836330B
授权日 ：
2022-05-27
发明人 ：
卢言晓
申请人 ：
北京北方华创微电子装备有限公司
申请人地址 ：
北京市北京经济技术开发区文昌大道8号
代理机构 ：
北京天昊联合知识产权代理有限公司
代理人 ：
彭瑞欣
优先权 ：
CN201810928025.6
主分类号 ：
F17D3/01
IPC分类号 ：
F17D3/01
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F17
气体或液体的贮存或分配
F17D
管道系统；管路
F17D
管道系统；管路
F17D3/00
观测或控制工序的装置
F17D3/01
用于控制、指示或观测产品的输送
法律状态
2022-05-27 ：
授权
2020-03-20 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : F17D 3/01
申请日 : 20180815
申请日 : 20180815
2020-02-25 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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