测量装置
授权
摘要
本发明提供一种测量装置，用于精度良好地测量在基板上成膜的蒸镀材料的膜厚。该测量装置具备多个支承件，其支承基板的周缘；以及膜厚测量器，其测量在基板上形成的蒸镀膜的膜厚，多个支承件包括：多个第一支承件，其支承基板的第一边；以及多个第二支承件，其支承与第一边对置的第二边，多个第一支承件以第一间隔或比第一间隔窄的第二间隔设置，多个第二支承件以第三间隔或比第三间隔窄的第四间隔设置，膜厚测量器测量基板上测量区域的膜厚，上述测量区域为从与第一间隔对应的第一区域至与第三间隔对应的第三区域的区域。
基本信息
专利标题 ：
测量装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN109708602A
申请号 ：
CN201811256286.4
公开（公告）日 ：
2019-05-03
申请日 ：
2018-10-26
授权号 ：
CN109708602B
授权日 ：
2022-04-29
发明人 ：
渡边一弘菅原洋纪
申请人 ：
佳能特机株式会社
申请人地址 ：
日本新泻县
代理机构 ：
中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
代理人 ：
邓宗庆
优先权 ：
CN201811256286.4
主分类号 ：
G01B21/08
IPC分类号 ：
G01B21/08 G01B11/06 C23C14/24 C23C14/54
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B21/00
不适合于本小类其他组中所列的特定类型计量装置的计量设备或其零部件
G01B21/02
用于计量长度、宽度或厚度
G01B21/08
用于计量厚度
法律状态
2022-04-29 ：
授权
2020-11-13 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01B 21/08
申请日 : 20181026
申请日 : 20181026
2019-05-03 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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