一种等离子体反应腔进气系统
授权
摘要
本发明公开一种等离子体反应腔进气系统，包括设置在等离子反应腔上部的中心进气孔和设置在等离子体反应腔边缘的边缘进气孔，还包括匀气内环，其表面开设有导气孔，以可绕轴向转动的方式设置在所述等离子反应腔内。本发明通过设计导气孔与匀气内环的径向形成一定夹角，利用导气孔喷入的高速气体，使匀气内环在高速气流的作用下绕轴向转动，从而达到气流高度对称分配的效果。
基本信息
专利标题 ：
一种等离子体反应腔进气系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN111146063A
申请号 ：
CN201811299284.3
公开（公告）日 ：
2020-05-12
申请日 ：
2018-11-02
授权号 ：
CN111146063B
授权日 ：
2022-04-08
发明人 ：
许开东胡冬冬李娜琚里邱勇侯永刚车东晨陈璐
申请人 ：
江苏鲁汶仪器有限公司
申请人地址 ：
江苏省徐州市邳州市邳州市经济开发区辽河西路8号
代理机构 ：
北京得信知识产权代理有限公司
代理人 ：
孟海娟
优先权 ：
CN201811299284.3
主分类号 ：
H01J37/32
IPC分类号 ：
H01J37/32
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/32
充气放电管
法律状态
2022-04-08 ：
授权
2020-06-05 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01J 37/32
申请日 : 20181102
申请日 : 20181102
2020-05-12 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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