一种可检真空度的真空玻璃及系统
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摘要

本发明提供的一种可检真空度的真空玻璃及系统,所述真空玻璃包括:第一平板玻璃、第二平板玻璃、封口片和真空计;所述第一平板玻璃和所述第二平板玻璃相对设置,所述第一平板玻璃和所述第二平板玻璃之间的边部设置有真空密封,所述第一平板玻璃和所述第二平板玻璃之间形成真空腔体,所述第一平板玻璃上设置有抽气口,所述抽气口上覆盖有封口片,所述真空计设置在所述真空腔体中,所述真空计上设置有用于将真空计的测量数据发送至所述真空腔体外的传输单元。本发明解决了真空玻璃的真空度检测存在对产品自身、及检测环境的要求较为苛刻,难以对真空玻璃的真空度实现批量的快速在线检测的问题。

基本信息
专利标题 :
一种可检真空度的真空玻璃及系统
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN109665725A
申请号 :
CN201811442545.2
公开(公告)日 :
2019-04-23
申请日 :
2018-11-29
授权号 :
CN109665725B
授权日 :
2022-04-15
发明人 :
王磊孔延梅焦斌斌李博赵发展韩郑生罗家俊刘新宇
申请人 :
中国科学院微电子研究所
申请人地址 :
北京市朝阳区北土城西路3号
代理机构 :
北京华沛德权律师事务所
代理人 :
房德权
优先权 :
CN201811442545.2
主分类号 :
C03C27/10
IPC分类号 :
C03C27/10  G01L21/00  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C03
玻璃;矿棉或渣棉
C03C
玻璃、釉或搪瓷釉的化学成分;玻璃的表面处理;由玻璃、矿物或矿渣制成的纤维或细丝的表面处理;玻璃与玻璃或与其他材料的接合
C03C27/00
玻璃制件与其他无机材料制件的接合;玻璃与玻璃的非熔化法接合
C03C27/06
玻璃与玻璃的非熔化法接合
C03C27/10
借助于专用的黏合剂
法律状态
2022-04-15 :
授权
2019-05-17 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : C03C 27/10
申请日 : 20181129
2019-04-23 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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