电子气三氯化硼中微量杂质四氯化硅的检测系统及方法
授权
摘要
本发明涉及气相色谱检测技术领域，公开了一种电子气三氯化硼中微量杂质四氯化硅的检测系统，包括切换阀V1、切换阀V2、定量管、第一载气气路、第二载气气路、管道、第一毛细管柱、第二毛细管柱、第一放空针阀、第二放空针阀和氦离子化检测器；定量管两端分别与切换阀V1连通，第一载气气路和第二载气气路分别与切换阀V1连通；切换阀V1与切换阀V2连通，管道、第二放空针阀和氦离子化检测器分别与切换阀V2连通；还公开了电子气三氯化硼中微量杂质四氯化硅的检测方法。本发明的检测系统可以很好地对微量与低浓度组份进行检测，检测限可达0.1ppm以下，本发明的检测方法可以对SiCl4进行准确定量，不会使结果偏高或偏低。
基本信息
专利标题 ：
电子气三氯化硼中微量杂质四氯化硅的检测系统及方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN109765310A
申请号 ：
CN201811609932.0
公开（公告）日 ：
2019-05-17
申请日 ：
2018-12-27
授权号 ：
CN109765310B
授权日 ：
2022-05-31
发明人 ：
李聪李艾瑾
申请人 ：
杭州克柔姆色谱科技有限公司
申请人地址 ：
浙江省杭州市拱墅区三墩路85号2幢1103室
代理机构 ：
浙江杭知桥律师事务所
代理人 ：
王梨华
优先权 ：
CN201811609932.0
主分类号 ：
G01N30/02
IPC分类号 ：
G01N30/02 G01N30/20 G01N30/60 G01N30/64
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N30/00
利用吸附作用、吸收作用或类似现象，或者利用离子交换，例如色谱法将材料分离成各个组分，来测试或分析材料
G01N30/02
柱色谱法
法律状态
2022-05-31 ：
授权
2019-06-11 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01N 30/02
申请日 : 20181227
申请日 : 20181227
2019-05-17 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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