电极层分区
授权
摘要
MEMS传感器包括悬挂在衬底上方的检验质块。感测电极平行于检验质块位于衬底的顶表面上，并且与检验质块形成电容器。感测电极具有为MEMS传感器提供改善的性能的多个槽。通过MEMS传感器感测的测量值基于检验质块相对于开槽感测电极的移动来确定。
基本信息
专利标题 ：
电极层分区
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN110366685A
申请号 ：
CN201880013532.5
公开（公告）日 ：
2019-10-22
申请日 ：
2018-02-23
授权号 ：
CN110366685B
授权日 ：
2022-05-17
发明人 ：
A·卡斯特罗M·汤普森L·巴尔达萨雷S·尼灿H·乔哈里-加勒
申请人 ：
应美盛股份有限公司
申请人地址 ：
美国加利福尼亚
代理机构 ：
中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
代理人 ：
刘倜
优先权 ：
CN201880013532.5
主分类号 ：
G01P15/125
IPC分类号 ：
G01P15/125 G01P15/08
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01P
线速度或角速度、加速度、减速度或冲击的测量；运动的存在或不存在的指示；运动的方向的指示、传播时间或传播方向来测量固体物体的方向或速度入G01S；核辐射速度的测量入G01T）
G01P15/00
测量加速度；测量减速度；测量冲击即加速度的突变
G01P15/02
利用惯性力
G01P15/08
用变换成电或磁量
G01P15/125
应用电容变送器
法律状态
2022-05-17 ：
授权
2019-12-31 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01P 15/125
申请日 : 20180223
申请日 : 20180223
2019-10-22 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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