具有优化的照明几何结构的结构照明
授权
摘要
根据参考测量，确定样本对象的对象传递函数(201)。然后，根据所述对象传递函数和光学单元的光学传递函数(202)进行优化(250)，获得优化的照明几何结构。
基本信息
专利标题 ：
具有优化的照明几何结构的结构照明
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN110462484A
申请号 ：
CN201880019069.5
公开（公告）日 ：
2019-11-15
申请日 ：
2018-03-02
授权号 ：
CN110462484B
授权日 ：
2022-04-05
发明人 ：
本尼迪克·迪德里希罗尔夫·沃特曼哈拉尔德·夏德温克尔拉尔斯·施托佩
申请人 ：
卡尔蔡司显微镜有限责任公司
申请人地址 ：
德国耶拿
代理机构 ：
北京睿阳联合知识产权代理有限公司
代理人 ：
杨生平
优先权 ：
CN201880019069.5
主分类号 ：
G02B21/08
IPC分类号 ：
G02B21/08 G01N21/64 G02B21/14 G06T7/00
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02B
光学元件、系统或仪器附注
G02B21/00
显微镜
G02B21/06
试样的照明装置
G02B21/08
聚光镜
法律状态
2022-04-05 ：
授权
2019-12-10 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G02B 21/08
申请日 : 20180302
申请日 : 20180302
2019-11-15 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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