控制探针尖端倾斜角度的扫描探针系统

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摘要

一种用探针扫描特征的方法，探针包括悬臂支架、从悬臂支架延伸到自由端的悬臂以及由悬臂的自由端承载的探针尖端。测量探针相对于参考表面的定向以生成探针定向测量结果；参考表面限定垂直于参考表面的参考表面轴线，探针尖端相对于参考表面轴线具有参考倾斜角；根据探针定向测量结果改变悬臂的形状，使得探针尖端相对于悬臂支架移动，参考倾斜角从第一参考倾斜角减小到第二参考倾斜角。采用探针扫描样品表面，其中，样品表面限定垂直于样品表面的样品表面轴线，探针尖端具有相对于样品表面轴线的扫描倾斜角。在扫描样品表面期间，移动悬臂支架，使得探针尖端以小于第一参考倾斜角的扫描倾斜角插入到样品表面中的特征中。

基本信息

专利标题：

控制探针尖端倾斜角度的扫描探针系统

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN110869772A

申请号：

CN201880035134.3

公开（公告）日：

2020-03-06

申请日：

2018-04-06

授权号：

CN110869772B

授权日：

2022-06-07

发明人：

安德鲁·汉弗里斯

申请人：

英菲尼特斯马有限公司

申请人地址：

英国阿宾顿牛津郡布莱克兰路

代理机构：

北京三高永信知识产权代理有限责任公司

代理人：

唐述灿

优先权：

CN201880035134.3

主分类号：

G01Q10/06

IPC分类号：

G01Q10/06