带有位置传感器的真空阀
授权
摘要
本发明涉及一种真空阀(1)，其具有阀封闭件(4)和驱动单元(7)，该驱动单元与所述阀封闭件(4)耦接，该驱动单元具有至少一个移调部件(5)。所述真空阀(1)还具有位置传感器(10、10’)特别是位移或距离传感器，从而可参照所述真空阀(1)的零位置特别是打开位置(O)或关闭位置(G)测量所述阀封闭件(4)的和/或至少一个所述移调部件(5)的位置。
基本信息
专利标题 ：
带有位置传感器的真空阀
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN110799786A
申请号 ：
CN201880043055.7
公开（公告）日 ：
2020-02-14
申请日 ：
2018-06-28
授权号 ：
CN110799786B
授权日 ：
2022-06-07
发明人 ：
克里斯托夫·伯姆艾德里安·埃申莫瑟凯尔·阿克塞尔·埃尔福德
申请人 ：
VAT控股公司
申请人地址 ：
瑞士哈格
代理机构 ：
北京弘权知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
许伟群
优先权 ：
CN201880043055.7
主分类号 ：
F16K51/02
IPC分类号 ：
F16K51/02 F16K37/00 F16K3/18 F16K3/10
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F16
工程元件或部件；为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施；一般绝热
F16K
阀；龙头；旋塞；致动浮子；通风或充气装置
F16K
阀；龙头；旋塞；致动浮子；通风或充气装置
F16K51/00
非专门用于特殊型式的阀或切断装置的其他部件
F16K51/02
专门适用于高真空设备
法律状态
2022-06-07 ：
授权
2020-05-08 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : F16K 51/02
申请日 : 20180628
申请日 : 20180628
2020-02-14 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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