已完成填充的容器的制造方法以及已完成填充的容器
授权
摘要
本发明的已完成填充的容器的制造方法的特征在于，包括如下工序：准备金属制的保存容器的工序，所述金属制的保存容器至少内表面由锰钢构成、且该内表面的表面粗糙度Rmax为10μm以下；氟化工序，在50℃以下，使上述保存容器的内表面与包含选自由ClF3、IF7、BrF5、F2和WF6组成的组中的至少一种第1含氟气体的气体接触；置换工序，对上述保存容器的内部用非活性气体进行置换；和，填充工序，在上述保存容器的内部填充选自由ClF3、IF7、BrF5、F2和WF6组成的组中的至少一种第2含氟气体。
基本信息
专利标题 ：
已完成填充的容器的制造方法以及已完成填充的容器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN110832106A
申请号 ：
CN201880044231.9
公开（公告）日 ：
2020-02-21
申请日 ：
2018-07-24
授权号 ：
CN110832106B
授权日 ：
2022-04-15
发明人 ：
八尾章史长友真圣池田晋也
申请人 ：
中央硝子株式会社
申请人地址 ：
日本山口县
代理机构 ：
北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
刘新宇
优先权 ：
CN201880044231.9
主分类号 ：
C23C8/08
IPC分类号 ：
C23C8/08 F16J12/00 F17C1/10 F17C13/00
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C8/00
金属材料表面中仅渗入非金属元素的固渗；材料表面与一种活性气体反应、覆层中留存表面材料反应产物的金属材料表面化学处理法，例如转化层、金属的钝化
C23C8/06
使用气体的
C23C8/08
仅用一种元素的
法律状态
2022-04-15 ：
授权
2020-06-26 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : C23C 8/08
申请日 : 20180724
申请日 : 20180724
2020-02-21 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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