具有高阶旋转对称机械结构和32个电极的硅多模科里奥利振动...
授权
摘要
一种角度传感器,包括科里奥利振动陀螺仪(CVG)谐振器,该谐振器能够沿着包括第一法向模态和第二法向模态的第一对法向n=1模态以及包括第三法向模态和第四法向模态的第二对法向n=2模态振荡;传感器还包括:一个驱动电极和一个感测电极,它们沿着每个模态的反节点轴线对齐;以及一对偏置调谐电极,如果没有驱动和感测电极对与每个模态的反节点轴线对齐,则该对偏置调谐电极与所述反节点轴线对齐。
基本信息
专利标题 :
具有高阶旋转对称机械结构和32个电极的硅多模科里奥利振动陀螺仪
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN111670338A
申请号 :
CN201880050670.0
公开(公告)日 :
2020-09-15
申请日 :
2018-06-08
授权号 :
CN111670338B
授权日 :
2022-05-17
发明人 :
洛根·D·索伦森阮勋拉维夫·佩拉西亚黄莲欣大卫·T·常
申请人 :
HRL实验室有限责任公司
申请人地址 :
美国加利福尼亚州
代理机构 :
北京鸿德海业知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
王再芊
优先权 :
CN201880050670.0
主分类号 :
G01C19/5649
IPC分类号 :
G01C19/5649 G01C19/5656 G01C25/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01C
测量距离、水准或者方位;勘测;导航;陀螺仪;摄影测量学或视频测量学
G01C19/00
陀螺仪;使用振动部件的转动敏感装置;不带有运动部件的转动敏感装置;使用陀螺效应测量角速率
G01C19/56
使用振动部件的转动敏感装置,例如基于科里奥利力的振动角速度传感器
G01C19/5642
使用振动条或振动梁
G01C19/5649
信号处理
法律状态
2022-05-17 :
授权
2020-10-13 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01C 19/5649
申请日 : 20180608
申请日 : 20180608
2020-09-15 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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