电压施加装置和输出电压波形的形成方法
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摘要
在对形成于基片上的多个被检查器件检查电特性的检测器中，对被检查器件施加电压的电压施加装置，其在被赋予规定的设定条件时，设定作为过渡电压设定参数的过渡阶梯数、阶梯时间、阶梯电压，以能够形成适合于规定的设定条件的、具有多个过渡阶梯的阶梯状的过渡电压波形，基于此，形成具有阶梯状的过渡电压波形的输出电压。将输出电压输入到DUT阶梯时的响应为产生过冲的2阶以上的高阶延迟系统，各过渡阶梯的阶梯时间的终点被设定成二阶延迟系统的阶梯响应曲线中的从上升时间的终点至超调时间之间的时间。
基本信息
专利标题 ：
电压施加装置和输出电压波形的形成方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN111051904A
申请号 ：
CN201880057271.7
公开（公告）日 ：
2020-04-21
申请日 ：
2018-07-25
授权号 ：
CN111051904B
授权日 ：
2022-04-01
发明人 ：
石井滋树杉山克昌成川健一品川衡二名仓卓身
申请人 ：
东京毅力科创株式会社
申请人地址 ：
日本东京都
代理机构 ：
北京尚诚知识产权代理有限公司
代理人 ：
龙淳
优先权 ：
CN201880057271.7
主分类号 ：
G01R31/3183
IPC分类号 ：
G01R31/3183 H01L21/66
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01R
测量电变量；测量磁变量
G01R31/3183
••••测试输入量的产生，例如测量矢量、图形或顺序
法律状态
2022-04-01 ：
授权
2020-05-15 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01R 31/3183
申请日 : 20180725
申请日 : 20180725
2020-04-21 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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