显示装置
授权
摘要
本发明的课题为，在具有由氧化物半导体构成的TFT的显示装置中，减小源极/漏极电阻并实现具有稳定的Vd‑Id特性的TFT。本发明的内容为：形成有多个具有由氧化物半导体105构成的薄膜晶体管(TFT)的像素的显示装置，其特征在于，所述氧化物半导体105中形成有沟道，在所述沟道的两侧形成的漏极及源极，在所述沟道与所述漏极之间或所述沟道与所述源极之间形成有中间区域，在所述氧化物半导体105的所述沟道与所述中间区域之上形成有栅极绝缘膜106，在所述栅极绝缘膜106之上形成有氧化铝膜107，在所述沟道的上方且在所述氧化铝膜107之上形成有栅电极109，在所述栅电极109的两侧形成有侧壁间隔件108，以覆盖所述栅电极109、所述侧壁间隔件108及所述源极及漏极的方式形成有层间绝缘膜110。
基本信息
专利标题 ：
显示装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN111512356A
申请号 ：
CN201880083528.6
公开（公告）日 ：
2020-08-07
申请日 ：
2018-11-28
授权号 ：
CN111512356B
授权日 ：
2022-04-08
发明人 ：
铃村功
申请人 ：
株式会社日本显示器
申请人地址 ：
日本东京都
代理机构 ：
北京市金杜律师事务所
代理人 ：
杨宏军
优先权 ：
CN201880083528.6
主分类号 ：
G09F9/30
IPC分类号 ：
G09F9/30 G02F1/1368 H01L21/336 H01L27/32 H01L29/786 H01L51/50
IPC结构图谱
G
G部——物理
G09
教育；密码术；显示；广告；印鉴
G09F
显示；广告；标记；标签或铭牌；印鉴
G09F9/00
采用选择或组合单个部件在支架上建立信息的可变信息的指示装置（其中可变信息永久性的连接在可动支架上的入G09F11/00
G09F9/30
由组合单个部件所形成的符号所需的字符或字符组
法律状态
2022-04-08 ：
授权
2020-09-01 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G09F 9/30
申请日 : 20181128
申请日 : 20181128
2020-08-07 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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