用于测量物体的表面的高度图的方法、系统和数据载体

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摘要

本发明涉及一种用于测量物体的表面的高度图的方法、系统和数据载体。在用于测量物体的表面的高度图的方法和系统中，执行以下步骤。使用具有覆盖个体分区的视场即FOV的光学轮廓仪来测量物体的表面的不同分区的高度图，其中该高度图包括高度数据。将测量高度图分组成不同集合的高度图，其中在各集合内，该集合的高度图中的每一个高度图与该集合的至少一个其它高度图存在有效重叠，以及其中，各高度图属于一个集合并且与另一集合的任何高度图不存在有效重叠。在各集合内，将测量高度图拼接为子合成拼接高度图。将子合成拼接高度图组合为合成高度图。

基本信息

专利标题：

用于测量物体的表面的高度图的方法、系统和数据载体

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN110044275A

申请号：

CN201910036740.3

公开（公告）日：

2019-07-23

申请日：

2019-01-15

授权号：

CN110044275B

授权日：

2022-04-01

发明人：

J·奎达克尔斯

申请人：

株式会社三丰

申请人地址：

日本神奈川县

代理机构：

北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：

刘新宇

优先权：

CN201910036740.3

主分类号：

G01B11/06

IPC分类号：

G01B11/06