用于流体喷射装置的改进的制造方法以及流体喷射装置
授权
摘要
一种用于制造用于喷射流体(6)的装置(1)的方法，包括产生喷嘴板(8)的步骤，产生喷嘴板(8)的步骤包括以下步骤：在第一半导体本体(31,35)中形成具有第一直径(d1)的第一喷嘴空腔(35’；35”)；至少部分地在第一喷嘴空腔(35’；35”)中形成亲水层(42)；在亲水层上形成结构层(45)；蚀刻结构层以形成在流体喷射方向(Z)上与第一喷嘴空腔对准并且具有大于第一直径(d1)的第二直径(d4)的第二喷嘴空腔(48)；继续进行对结构层的蚀刻，以用于去除结构层的在第一喷嘴空腔中的部分，以到达亲水层(42)并且被布置成与第一和第二喷嘴空腔流体连通；以及将喷嘴板(8)与用于容纳流体(6)的腔室(10)耦合。
基本信息
专利标题 ：
用于流体喷射装置的改进的制造方法以及流体喷射装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN109910435A
申请号 ：
CN201910116519.9
公开（公告）日 ：
2019-06-21
申请日 ：
2016-06-28
授权号 ：
CN109910435B
授权日 ：
2022-04-05
发明人 ：
M·卡塔内奥L·科罗姆伯C·L·佩瑞里尼D·法拉利A·斯休蒂L·滕托里
申请人 ：
意法半导体股份有限公司
申请人地址 ：
意大利阿格拉布里安扎
代理机构 ：
北京市金杜律师事务所
代理人 ：
王茂华
优先权 ：
CN201910116519.9
主分类号 ：
B41J2/01
IPC分类号 ：
B41J2/01 B41J2/14 B41J2/16 B29C64/106 B29C64/209 B33Y30/00
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B41
印刷；排版机；打字机；模印机
B41J
打字机；选择性印刷机构，即不用印刷的印刷机构；排版错误的修正标记的记录载体入G06K；免费证或票券印刷及发行设备入G07B；电键式开关一般入H01H13/70，H03K17/94；与键盘或类似装置相关的编码一般入H03M11/00；传递数字信息的接收或发送机入H04L；文件或
B41J2/00
以打印或标记工艺为特征而设计的打字机或选择性印刷机构
B41J2/005
特征在于使液体或粉粒有选择地与印刷材料接触
B41J2/01
油墨喷射
法律状态
2022-04-05 ：
授权
2019-07-16 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : B41J 2/01
申请日 : 20160628
申请日 : 20160628
2019-06-21 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
1、
CN109910435A.PDF
PDF下载
