具有机械解耦的温度传感器的应变仪
授权
摘要
本申请的各实施例涉及具有机械解耦的温度传感器的应变仪。半导体器件包括衬底上的应变仪，应变仪被配置为测量衬底的应力；以及被设置在衬底内的温度传感器，温度传感器与衬底的应力解耦。
基本信息
专利标题 ：
具有机械解耦的温度传感器的应变仪
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN110174198A
申请号 ：
CN201910120291.0
公开（公告）日 ：
2019-08-27
申请日 ：
2019-02-18
授权号 ：
CN110174198B
授权日 ：
2022-04-01
发明人 ：
D·卡尔塔比亚诺
申请人 ：
意法半导体股份有限公司
申请人地址 ：
意大利阿格拉布里安扎
代理机构 ：
北京市金杜律师事务所
代理人 ：
王茂华
优先权 ：
CN201910120291.0
主分类号 ：
G01L1/22
IPC分类号 ：
G01L1/22 G01K7/16 G01K1/14
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01L
测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力
G01L1/00
力或应力的一般计量
G01L1/20
通过测量固体材料或导电流体欧姆电阻变化；应用动力电池，即施加应力后会产生或改变其电位的液体电池
G01L1/22
利用电阻应变仪
法律状态
2022-04-01 ：
授权
2019-09-20 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01L 1/22
申请日 : 20190218
申请日 : 20190218
2019-08-27 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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