用于检测具有大分子的气体的气体传感器设备
授权
摘要
本公开提供了用于检测具有大分子的气体的气体传感器设备。本公开涉及一种气体传感器设备，其检测诸如硅氧烷之类的具有大分子的气体(例如，具有的分子量在150g/mol和450g/mol之间的气体)。气体传感器设备包括薄膜气体传感器和体膜气体传感器。薄膜气体传感器和体膜气体传感器各自包括半导体金属氧化物(SMO)膜、加热器和温度传感器。薄膜气体传感器的SMO膜是薄膜(例如，在90纳米和110纳米厚之间)，并且体膜气体传感器的SMO膜是厚膜(例如，在5微米和20微米厚之间)。气体传感器设备基于SMO薄膜和SMO厚膜的电阻之间的变化来检测具有大分子的气体。
基本信息
专利标题 ：
用于检测具有大分子的气体的气体传感器设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN110174446A
申请号 ：
CN201910128189.5
公开（公告）日 ：
2019-08-27
申请日 ：
2019-02-18
授权号 ：
CN110174446B
授权日 ：
2022-06-03
发明人 ：
M·布拉赫姆H·玛杰里O·勒内尔R·山卡尔E·R·阿莱西P·比安科利洛
申请人 ：
意法半导体股份有限公司;意法半导体有限公司
申请人地址 ：
意大利阿格拉布里安扎
代理机构 ：
北京市金杜律师事务所
代理人 ：
王茂华
优先权 ：
CN201910128189.5
主分类号 ：
G01N27/12
IPC分类号 ：
G01N27/12
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N27/00
用电、电化学或磁的方法测试或分析材料
G01N27/02
通过测试阻抗
G01N27/04
通过测试电阻
G01N27/12
与流体的吸收有关的固体的电阻，依赖于与流体发生反应的固体的电阻
法律状态
2022-06-03 ：
授权
2019-09-20 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01N 27/12
申请日 : 20190218
申请日 : 20190218
2019-08-27 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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