氮化铝陶瓷基板的烧结方法

授权

摘要

一种氮化铝陶瓷基板的烧结方法，在基板烧结过程中，使用惰性气体对石墨烧结炉炉膛内的气氛进行置换，本发明的烧结方法采用可控的氮气保护气氛，并定期置换炉内气氛，调整石墨烧结炉的炉膛压力和炉内化学物质气氛，排出杂质气氛，控制氮化铝陶瓷基板的热导率和提升基板的平整度。采用本发明方法生产的基板的热导率可以稳定控制在170W/m·K以上，基板平整度合格率为95%以上。

基本信息

专利标题：

氮化铝陶瓷基板的烧结方法

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN109809823A

申请号：

CN201910138598.3

公开（公告）日：

2019-05-28

申请日：

2019-02-25

授权号：

CN109809823B

授权日：

2022-04-05

发明人：

汪文涛胡娟李大海

申请人：

银川艾森达新材料发展有限公司

申请人地址：

宁夏回族自治区银川市银川经济技术开发区西区战略新材料加工区1号厂房

代理机构：

宁夏合天律师事务所

代理人：

周晓梅

优先权：

CN201910138598.3

主分类号：

C04B35/581

IPC分类号：

C04B35/581 C04B35/638 C04B35/64