风机控制方法及风机控制装置
授权
摘要
本发明提供一种风机控制方法，通过风机向工艺腔室内输送气体，并根据清洗工艺采用的工艺参数的变化控制风机的转速，以降低风机的能耗。本发明还提供一种风机控制装置，包括获取单元和控制单元，其中，获取单元用于获取清洗工艺采用的工艺参数，并发送至控制单元；控制单元用于根据工艺参数的变化控制风机的转速，以降低风机的能耗。本发明提供的风机控制方法及风机控制装置能够节省清洗工艺消耗的能源，降低清洗工艺的成本。
基本信息
专利标题 ：
风机控制方法及风机控制装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN111664106A
申请号 ：
CN201910175241.2
公开（公告）日 ：
2020-09-15
申请日 ：
2019-03-08
授权号 ：
CN111664106B
授权日 ：
2022-05-27
发明人 ：
王浩
申请人 ：
北京北方华创微电子装备有限公司
申请人地址 ：
北京市北京经济技术开发区文昌大道8号
代理机构 ：
北京天昊联合知识产权代理有限公司
代理人 ：
彭瑞欣
优先权 ：
CN201910175241.2
主分类号 ：
F04D27/00
IPC分类号 ：
F04D27/00
相关图片
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F04
液体变容式机械；液体泵或弹性流体泵
F04D
非变容式泵
F04D
非变容式泵
F04D27/00
专门适用于弹性流体的泵、泵送装置或系统的控制，例如调节
法律状态
2022-05-27 ：
授权
2020-10-13 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : F04D 27/00
申请日 : 20190308
申请日 : 20190308
2020-09-15 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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