本发明公开一种平面直线位移监测控制系统，包括基准支撑面、设置于所述基准支撑面上的直线驱动机构、设置于所述直线驱动机构的输出端上并用于在其动力驱动下进行直线位移的工件、设置于所述基准支撑面的表面上并用于检测所述工件相对于所述基准支撑面的位置变化信息的位移测量单元，以及与所述位移测量单元及所述直线驱动机构信号连接、用于计算所述工件的当前姿态修正量的计算单元，与所述直线驱动机构的控制端信号连接、用于根据所述计算单元的计算结果控制所述直线驱动机构改变驱动状态的控制单元。本发明能够方便地实现对工件的位移驱动状态检测，并进行精确地控制。