具可调整弹簧的微机电装置
授权
摘要
本发明公开一种具可调整弹簧的微机电装置，其包含一中央部、一外围部及至少一弹簧。外围部环绕中央部，且与中央部相间隔。弹簧包括一外围段、一外延伸段及一中央段。外围段连接外延伸段。外延伸段的单位温度热膨胀量大于外围段的单位温度热膨胀量或大于中央段的单位温度热膨胀量。
基本信息
专利标题 ：
具可调整弹簧的微机电装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN111750900A
申请号 ：
CN201910449996.7
公开（公告）日 ：
2020-10-09
申请日 ：
2019-05-28
授权号 ：
CN111750900B
授权日 ：
2022-04-12
发明人 ：
叶建南许郁文黄肇达
申请人 ：
财团法人工业技术研究院
申请人地址 ：
中国台湾新竹县
代理机构 ：
北京市柳沈律师事务所
代理人 ：
陈小雯
优先权 ：
CN201910449996.7
主分类号 ：
G01D3/036
IPC分类号 ：
G01D3/036
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01D
非专用于特定变量的测量；不包含在其他单独小类中的测量两个或多个变量的装置；计费设备；非专用于特定变量的传输或转换装置；未列入其他类目的测量或测试
G01D3/00
用于本组各小组中所列特定用途的测量装置
G01D3/028
减轻不希望产生的影响，例如温度、压力
G01D3/036
测量装置自身
法律状态
2022-04-12 ：
授权
2020-10-30 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01D 3/036
申请日 : 20190528
申请日 : 20190528
2020-10-09 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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