本发明涉及压力感测元件，其包括支撑衬底，该支撑衬底包括腔。装置层结合到支撑衬底，其中装置层的隔膜以密封方式覆盖腔。多个压电电阻器联接到隔膜。多个金属应力均衡器安置在装置层上，使得每个应力均衡器大致邻近于对应的压电电阻器但与其分离。多个金属结合焊盘安置在装置层上。多个应力均衡器被构造和布置成减小由在压力感测元件的冷却和加热循环期间金属结合焊盘的应力松弛所导致的压力感测元件的热滞后。