光束弯折器
授权
摘要
本发明提供一种光束弯折器，能够提高由光束弯折器弯曲后的电子射线的集束性。在沿着通过光束弯折器(12)的内侧曲面(17)与外侧曲面(19)之间的电子射线的行进方向的第一剖面中，设定成内侧曲面的曲率和外侧曲面的曲率分别恒定，内侧曲面的曲率中心与外侧曲面的曲率中心一致。在与电子射线的行进方向垂直的第二剖面中，设定成内侧曲面的曲率和外侧曲面的曲率分别恒定，内侧曲面的曲率中心与外侧曲面的曲率中心一致。第二剖面中的内侧曲面的曲率半径被设定得比第一剖面中的内侧曲面的曲率半径大，第二剖面中的外侧曲面的曲率半径被设定得比第一剖面中的外侧曲面的曲率半径大。
基本信息
专利标题 ：
光束弯折器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN110581047A
申请号 ：
CN201910496639.6
公开（公告）日 ：
2019-12-17
申请日 ：
2019-06-10
授权号 ：
CN110581047B
授权日 ：
2022-05-13
发明人 ：
村上武司
申请人 ：
株式会社荏原制作所
申请人地址 ：
日本东京都大田区羽田旭町11番1号
代理机构 ：
上海华诚知识产权代理有限公司
代理人 ：
肖华
优先权 ：
CN201910496639.6
主分类号 ：
H01J37/26
IPC分类号 ：
H01J37/26
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/26
电子或离子显微镜；电子或离子衍射管
法律状态
2022-05-13 ：
授权
2021-06-08 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01J 37/26
申请日 : 20190610
申请日 : 20190610
2019-12-17 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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