基于声子晶体的薄膜体声波谐振器
授权
摘要
本发明提供一种基于声子晶体的薄膜体声波谐振器,包括衬底;声子晶体层,声子晶体交叠沉积在衬底表面上,散射体周期排列在基体材料中,散射体的材料与基体不同;压电振荡堆层,由下至上包括底电极,压电材料薄膜和顶电极。本发明利用材料结构设计来加强薄膜体声波谐振器中纵波的反射,以及减少横向剪切波的耗损。散射体能够在特定的工作频率范围内对声波屏蔽,对应工作频率的声波将被完全反射,减小横向剪切波,提高谐振器的Q值。另外所述基于声子晶体的薄膜体声波谐振器不需要在衬底上设置空腔结构,增强了谐振器的稳定性,同时谐振器产生的热量可以有效的通过声子晶体传输和散热,增强了谐振器的散热能力,提高其功率容量。
基本信息
专利标题 :
基于声子晶体的薄膜体声波谐振器
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN110417371A
申请号 :
CN201910557023.5
公开(公告)日 :
2019-11-05
申请日 :
2019-06-25
授权号 :
CN110417371B
授权日 :
2022-06-14
发明人 :
谢英孙成亮蔡耀王雅馨刘炎高超
申请人 :
武汉大学
申请人地址 :
湖北省武汉市武昌区珞珈山武汉大学
代理机构 :
武汉科皓知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 :
艾小倩
优先权 :
CN201910557023.5
主分类号 :
H03H3/02
IPC分类号 :
H03H3/02 H03H9/02 H03H9/17
法律状态
2022-06-14 :
授权
2022-05-31 :
专利申请权、专利权的转移
专利申请权的转移IPC(主分类) : H03H 3/02
登记生效日 : 20220518
变更事项 : 申请人
变更前权利人 : 武汉大学
变更后权利人 : 宁波华彰企业管理合伙企业(有限合伙)
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 430072 湖北省武汉市武昌区珞珈山武汉大学
变更后权利人 : 315832 浙江省宁波市北仑区梅山七星路88号1幢401室A区E2025
登记生效日 : 20220518
变更事项 : 申请人
变更前权利人 : 武汉大学
变更后权利人 : 宁波华彰企业管理合伙企业(有限合伙)
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 430072 湖北省武汉市武昌区珞珈山武汉大学
变更后权利人 : 315832 浙江省宁波市北仑区梅山七星路88号1幢401室A区E2025
2019-11-29 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : H03H 3/02
申请日 : 20190625
申请日 : 20190625
2019-11-05 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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