本发明实施例公开了一种指纹识别模组及其制备方法、相关装置，指纹识别模组包括感光薄膜晶体管基板，感光薄膜晶体管基板包括衬底基板、栅极层、导电层和用于感光的铁电材料层；栅极层位于衬底基板之上；铁电材料层位于栅极层之上，铁电材料层在衬底基板上的投影与栅极层在衬底基板上的投影部分或全部重叠；导电层位于铁电材料层之上，导电层在衬底基板上的投影与铁电材料层在衬底基板上的投影部分或全部重叠。本发明实施例中指纹识别模组中采用铁电材料层作为感光传感器替代传统材料制作的感光传感器，由于铁电材料中的内建场源于铁电材料中的铁电极化，因此突破了传统材料禁带对光伏电压的限制，从而提高了光学指纹识别模组的灵敏度。