热介质的混合装置及冷却装置
授权
摘要
公开了一种热介质的混合装置及冷却装置。本发明公开了一种在维持制造工序所需的热介质的流量或压力的同时通过PID控制可实现精密温度控制的热介质的混合装置。所述混合装置包括：冷却通道阀门，连接于冷却装置的冷却通道而供给或回收热介质；加热通道阀门，连接于加热通道而供给或回收热介质；以及循环泵，设置于由朝向制造设备的供给线和来自所述制造设备的回收线而形成的闭环，其中，供给至所述制造设备的热介质的流量和压力借由所述循环泵而得到维持，温度借由所述各阀门的开启率而得到调整。
基本信息
专利标题 ：
热介质的混合装置及冷却装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN111495263A
申请号 ：
CN201910781413.0
公开（公告）日 ：
2020-08-07
申请日 ：
2019-08-23
授权号 ：
CN111495263B
授权日 ：
2022-05-31
发明人 ：
权珍汉南廷旭潘润植金鹤九徐锡源
申请人 ：
尤内深股份公司
申请人地址 ：
韩国京畿道华城市
代理机构 ：
北京铭硕知识产权代理有限公司
代理人 ：
李盛泉
优先权 ：
CN201910781413.0
主分类号 ：
B01F15/00
IPC分类号 ：
B01F15/00 B01F15/06
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01F
混合，例如，溶解、乳化、分散
B01F15/00
混合机附件
法律状态
2022-05-31 ：
授权
2020-09-01 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : B01F 15/00
申请日 : 20190823
申请日 : 20190823
2020-08-07 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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