具有气泡检测能力的微型尺寸力传感器
授权
摘要
本发明题为“具有气泡检测能力的微型尺寸力传感器”。本发明提供了一种感光力传感器。示例性感光力传感器包括力感测设备，该力感测设备被配置为设置在基板的表面上；壳体，该壳体被配置为设置在该基板的表面的至少一部分上；和致动器，该致动器被配置为部分地设置在壳体内且部分地设置在由壳体限定的孔内。该壳体被配置为包封力感测设备。该孔被配置为提供耦合接口。该致动器与力感测设备机械接触。该致动器是刚体，其被配置为提供从壳体外部/之外的光源到力感测设备的光路。
基本信息
专利标题 ：
具有气泡检测能力的微型尺寸力传感器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN110940446A
申请号 ：
CN201910794404.5
公开（公告）日 ：
2020-03-31
申请日 ：
2019-08-27
授权号 ：
CN110940446B
授权日 ：
2022-05-13
发明人 ：
万永波
申请人 ：
霍尼韦尔国际公司
申请人地址 ：
美国新泽西州
代理机构 ：
中国专利代理(香港)有限公司
代理人 ：
任霄
优先权 ：
CN201910794404.5
主分类号 ：
G01L5/00
IPC分类号 ：
G01L5/00 G01V9/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01L
测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力
G01L5/00
适用于特定目的的力、功、机械功率或转矩的测量装置或方法
法律状态
2022-05-13 ：
授权
2020-04-24 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01L 5/00
申请日 : 20190827
申请日 : 20190827
2020-03-31 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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