振动网式雾化器及其制作方法
授权
摘要

本发明公开一种振动网式雾化器及其制作方法。所述制作方法包括:制作网孔模板,其中所述网孔模板具有凸柱阵列;在所述网孔模板上旋涂网孔材料以形成网孔结构层,所述网孔结构层覆盖所述网孔模板的表面和所述凸柱阵列;刻蚀所述网孔结构层直至暴露出所述凸柱阵列;去除所述网孔模板,以获得振动膜片,其中所述振动膜片的与所述凸柱阵列正对的位置形成若干网孔。上述振动网式雾化器可以实现从低粘度到高粘度液体的常温雾化,且雾化充分、雾化液滴体积小、流量大,网孔表面平整、坚固又易于清洗,同时该制作方法工艺稳定、易于重复。

基本信息
专利标题 :
振动网式雾化器及其制作方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN112517308A
申请号 :
CN201910875321.9
公开(公告)日 :
2021-03-19
申请日 :
2019-09-17
授权号 :
CN112517308B
授权日 :
2022-04-01
发明人 :
钱波李令英张贝贝
申请人 :
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
申请人地址 :
江苏省苏州市苏州工业园区若水路398号
代理机构 :
深圳市铭粤知识产权代理有限公司
代理人 :
孙伟峰
优先权 :
CN201910875321.9
主分类号 :
B05B17/06
IPC分类号 :
B05B17/06  B29D28/00  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B05
一般喷射或雾化;对表面涂覆流体的一般方法
B05B
喷射装置;雾化装置;喷嘴
B05B17/00
该小类任何其他组中未包含的液体或其他流体喷射或雾化的装置
B05B17/04
用特殊方法操作
B05B17/06
利用超声波振动
法律状态
2022-04-01 :
授权
2021-04-06 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : B05B 17/06
申请日 : 20190917
2021-03-19 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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