一种研磨头离线测试平台及方法
授权
摘要
本发明公开了一种研磨头离线测试平台,包括控制箱,所述控制箱内安装有执行机构和检测机构,所述控制箱的内侧壁上分别对称安装有两个第一卡板和第二卡板,两个所述第一卡板和两个第二卡板上分别滑动插设有第一抽板和第二抽板,所述执行机构安装在第一抽板上,所述检测机构安装在第二抽板上;本发明还公开了一种研磨头离线测试方法,包括以下步骤:S1:通气;S2:检测;S3:控制;S4:判断。本发明通过研磨头悬挂安装模拟实际研磨状态测量研磨头的漏气和磨损情况,且在测量时选择多组不同气压进行测量,增加测量的准确性,且多个压力传感器设置在多个可扩展模组条上,减少单个压力传感器测量区域,增加测量的精确度。
基本信息
专利标题 :
一种研磨头离线测试平台及方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN110553803A
申请号 :
CN201910910803.3
公开(公告)日 :
2019-12-10
申请日 :
2019-09-25
授权号 :
CN110553803B
授权日 :
2022-05-27
发明人 :
叶文君梁晗
申请人 :
丰豹智能科技(上海)有限公司
申请人地址 :
上海市浦东新区临港新城水芸路300号703A
代理机构 :
重庆百润洪知识产权代理有限公司
代理人 :
杨光
优先权 :
CN201910910803.3
主分类号 :
G01M3/26
IPC分类号 :
G01M3/26
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01M
机器或结构部件的静或动平衡的测试;其他类目中不包括的结构部件或设备的测试
G01M3/00
结构部件的流体密封性的测试
G01M3/02
应用流体或真空
G01M3/26
通过测量流体的增减速率,例如,用压力响应装置,用流量计
法律状态
2022-05-27 :
授权
2020-07-14 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01M 3/26
申请日 : 20190925
申请日 : 20190925
2019-12-10 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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