本发明公开了一种基于径向基神经网络的压电陶瓷驱动器复合控制方法，包括：将压电陶瓷驱动器的期望位移信号输入至前馈控制器，获取前馈控制器输出的初始电压信号并获取压电陶瓷驱动器的第一位移信号，由此计算跟踪误差信号，将跟踪误差信号输入至PID控制器中，获取PID控制器输出的电压信号，利用该电压信号对初始电压信号进行修正，获取压电陶瓷驱动器的第二位移信号；将第二位移信号输入至RBF神经网络适配器中，通过适配器输出自适应调整后的电压信号，利用该电压信号对修正电压信号进行修正，得到最终用于驱动压电陶瓷驱动器的驱动电压信号。本方法能克服压电陶瓷驱动器的迟滞非线性特性带来的不利影响，显著提高压电陶瓷驱动器的定位精度。