本发明提供了一种基于微机电系统的摩擦纳米发电机及其制备方法，摩擦纳米发电机包括：基底；摩擦层，其内限定有真空腔，摩擦层设在基底上，摩擦层包括键合连接的第一摩擦本体和第二摩擦本体，第一摩擦本体和第二摩擦本体之间限定出真空腔，摩擦层配置成当外界有入射声波能量传送至第二摩擦本体时，驱动第二摩擦本体在真空腔内振动，且在第二摩擦本体与第一摩擦本体接触后产生电信号；电极，分别设在基底和摩擦层上以形成底电极和顶电极；导线，分别与底电极和顶电极连接以导出电信号。本发明的摩擦纳米发电机，通过在摩擦层内构建真空腔，使摩擦发生在真空环境中，提高摩擦纳米发电机的输出信号的稳定性。