电极组件及高温真空炉
授权
摘要

本申请实施例提供了一种电极组件及高温真空炉。电极组件设置于高温真空炉上,用于连接供电电缆及炉体内的加热器,包括:电极、冷却机构、密封机构及电极杆;电极位于炉体的外部,电极的上部与供电电缆连接,电极的底端与电极杆连接,电极杆穿过炉体的炉壁伸入炉体且与加热器连接;电极内具有轴向延伸设置的冷却腔,且冷却腔的开口位于电极的顶端;冷却机构设置于电极的顶端处且与电极连接,用于向冷却腔内通入冷却介质;密封机构用于密封电极与电极杆的连接处。本申请提供的电极组件不仅结构简单、紧凑,而且冷却机构与电极之间采用中通冷却方式,使得电极传热热阻较小,能更加快速的将电极的热量带走,从而提高了冷却效率。

基本信息
专利标题 :
电极组件及高温真空炉
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN111006515A
申请号 :
CN201911154350.2
公开(公告)日 :
2020-04-14
申请日 :
2019-11-22
授权号 :
CN111006515B
授权日 :
2022-05-27
发明人 :
陈志兵李旭刚
申请人 :
北京北方华创微电子装备有限公司
申请人地址 :
北京市北京经济技术开发区文昌大道8号
代理机构 :
北京天昊联合知识产权代理有限公司
代理人 :
彭瑞欣
优先权 :
CN201911154350.2
主分类号 :
F27D7/06
IPC分类号 :
F27D7/06  F27D9/00  F27D11/10  H01L21/67  H05B7/12  
IPC结构图谱
F
F部——机械工程;照明;加热;武器;爆破
F27
炉;窑;烘烤炉;蒸馏炉
F27D
一种以上的炉通用的炉、窑、烘烤炉或蒸馏炉的零部件或附件
F27D
一种以上的炉通用的炉、窑、烘烤炉或蒸馏炉的零部件或附件
F27D7/00
加热室内气压的形成、维持或循环
F27D7/06
加热室内特定气氛或真空的形成或维持
法律状态
2022-05-27 :
授权
2020-05-08 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : F27D 7/06
申请日 : 20191122
2020-04-14 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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