显示面板制备装置及方法
授权
摘要
本发明提供一种显示面板制备装置及方法，该显示面板制备装置通过增加辅助腔和循环泵，在使用第一刻蚀液对栅极层进行湿刻后，通过向第一刻蚀液内添加辅助添加剂，使用循环泵混合第一刻蚀液和辅助添加剂形成第二刻蚀液，使用第二刻蚀液对源漏极层进行湿刻，从而使得栅极图案和源漏极图案，使得采用同一装置对显示面板的栅极和源漏极层进行湿刻，且无需更换第一刻蚀液，只需在第一刻蚀液内增加辅助添加剂，即可得到刻蚀源漏极层的第二刻蚀液，且第一刻蚀液可在刻蚀栅极层后重复利用，充分利用第一刻蚀液，从而节省成本，提高了效率，解决了现有显示面板存在制备过程中需要采用不同的机台制备不同的金属层，造成制备金属图案的效率较低的技术问题。
基本信息
专利标题 ：
显示面板制备装置及方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN110993614A
申请号 ：
CN201911183753.X
公开（公告）日 ：
2020-04-10
申请日 ：
2019-11-27
授权号 ：
CN110993614B
授权日 ：
2022-06-10
发明人 ：
李嘉
申请人 ：
深圳市华星光电半导体显示技术有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市光明新区公明街道塘明大道9-2号
代理机构 ：
深圳紫藤知识产权代理有限公司
代理人 ：
何辉
优先权 ：
CN201911183753.X
主分类号 ：
H01L27/12
IPC分类号 ：
H01L27/12 H01L21/77
法律状态
2022-06-10 ：
授权
2020-05-05 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 27/12
申请日 : 20191127
申请日 : 20191127
2020-04-10 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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