双滑台同步缓冲机构和密封门装置

授权

摘要

本发明提供一种双滑台同步缓冲机构和密封门装置，包括：两个滑块和自适应调节结构；两个所述滑台分设于一操作对象相对的两侧，用于驱动所述操作对象往复运动；所述自适应调节结构设于一所述滑台上，并与所述滑台固定连接，所述自适应调节结构具有沿所述往复运动的方向的形变自由度，在滑台驱动所述操作对象做往复运动的过程中，当两个所述滑台因速度不同而导致不同步时，所述自适应调节结构通过往复运动方向上的形变来产生作用力作用于另一所述滑台上，以减小两个所述滑台的速度差，直至两个所述滑台同步，故而可以避免发生因不同步而导致滑台受损的情况。

基本信息

专利标题：

双滑台同步缓冲机构和密封门装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN112859527A

申请号：

CN201911185482.1

公开（公告）日：

2021-05-28

申请日：

2019-11-27

授权号：

CN112859527B

授权日：

2022-04-05

发明人：

刘凯王刚

申请人：

上海微电子装备（集团）股份有限公司

申请人地址：

上海市浦东新区张东路1525号

代理机构：

上海思捷知识产权代理有限公司

代理人：

王宏婧

优先权：

CN201911185482.1

主分类号：

G03F7/20

IPC分类号：

G03F7/20