一种电驱动光栅波分复用器件及其制备方法
授权
摘要
本发明公开了一种电驱动光栅波分复用器件及其制备方法，器件以硅基氮化物晶片为载体，包括从下至上依次设置的硅衬底层、氮化铝、n型氮化镓层、量子阱层、p型氮化镓层、设置在所述p型氮化镓层上的p型电极、设置在所述n型氮化镓层的n型环形电极，两边刻至硅衬底层，等高等宽的光栅结构刻至p型氮化镓层中部。本发明是在硅衬底上的氮化物材料，利用光刻刻蚀工艺和EBL刻蚀工艺制备电驱动光栅波分复用器件。
基本信息
专利标题 ：
一种电驱动光栅波分复用器件及其制备方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN110957406A
申请号 ：
CN201911232774.6
公开（公告）日 ：
2020-04-03
申请日 ：
2019-12-05
授权号 ：
CN110957406B
授权日 ：
2022-05-27
发明人 ：
朱刚毅王鹏辉秦飞飞
申请人 ：
南京邮电大学
申请人地址 ：
江苏省南京市栖霞区文苑路9号
代理机构 ：
南京纵横知识产权代理有限公司
代理人 ：
董建林
优先权 ：
CN201911232774.6
主分类号 ：
H01L33/20
IPC分类号 ：
H01L33/20 H01L33/00
相关图片
法律状态
2022-05-27 ：
授权
2020-05-01 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 33/20
申请日 : 20191205
申请日 : 20191205
2020-04-03 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
1、
CN110957406A.PDF
PDF下载
