一种电阻检测装置
授权
摘要
本发明涉及液晶面板制造检测设备技术领域,尤其涉及一种电阻检测装置。本发明提供的电阻检测装置,包括固定架、探测头、第一驱动机构和第二驱动机构,探测头被配置为与待测物的距离为S1。第一驱动机构的输出端与探测头相连接,第一驱动机构能够驱动探测头沿靠近待测物的方向最大移动距离为S2,S2<S1,第一驱动机构用于粗调,以提高调节效率。第二驱动机构的输出端与探测头相连接,第二驱动机构能够驱动探测头沿靠近待测物的方向最小移动距离S3,S3≥S1‑S2,第二驱动机构用于精调,以小幅度调节探测头的位置,以使探测头微量运动,避免探测头作用在待测物上的力过大损坏待测物。
基本信息
专利标题 :
一种电阻检测装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN110736417A
申请号 :
CN201911250095.1
公开(公告)日 :
2020-01-31
申请日 :
2019-12-09
授权号 :
CN110736417B
授权日 :
2022-04-29
发明人 :
马达
申请人 :
苏州精濑光电有限公司
申请人地址 :
江苏省苏州市吴中区郭巷街道吴淞路892号2幢
代理机构 :
北京品源专利代理有限公司
代理人 :
胡彬
优先权 :
CN201911250095.1
主分类号 :
G01B7/06
IPC分类号 :
G01B7/06 G01R27/02
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量;角度的计量;面积的计量;不规则的表面或轮廓的计量
G01B7/00
以采用电或磁的方法为特征的计量设备
G01B7/02
用于计量长度、宽度或厚度
G01B7/06
用于计量厚度
法律状态
2022-04-29 :
授权
2020-02-25 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01B 7/06
申请日 : 20191209
申请日 : 20191209
2020-01-31 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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