一种用于质谱检测的介电型样品靶片及其制作方法
授权
摘要
本申请提供了一种用于质谱检测的介电型样品靶片及其制作方法，涉及检测技术领域。该靶片包括介质层与第一导电层，其中，介质层包括正面与背面，且介质层的正面上设置有一个或多个载样区；同时介质层与第一导电层连接，且第一导电层连接于介质层的背面；同时，根据实际需求该靶片还应包括第二和/或第三导电层。第二导电层连接于介质层正面载样区内、第三导电层连接于介质层正面非载样区。本申请提供的用于质谱检测的介电型样品靶片及其制作方法具有信噪比更加理想、工艺简单，成本更低的优点。
基本信息
专利标题 ：
一种用于质谱检测的介电型样品靶片及其制作方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN110931344A
申请号 ：
CN201911252189.2
公开（公告）日 ：
2020-03-27
申请日 ：
2019-12-09
授权号 ：
CN110931344B
授权日 ：
2022-06-03
发明人 ：
卢瀚仑陈志涛王巧刘宁炀
申请人 ：
广东省半导体产业技术研究院
申请人地址 ：
广东省广州市天河区长兴路363号
代理机构 ：
北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
徐彦圣
优先权 ：
CN201911252189.2
主分类号 ：
H01J49/04
IPC分类号 ：
H01J49/04 H01J49/40 G01N27/64
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J49/00
粒子分光仪或粒子分离管
H01J49/02
零部件
H01J49/04
导入或提取待分析试样的装置，如真空锁；电子光学或离子光学部件的外部调节装置
法律状态
2022-06-03 ：
授权
2020-04-21 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01J 49/04
申请日 : 20191209
申请日 : 20191209
2020-03-27 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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