一种类富勒烯碳基复合薄膜及其制备方法
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摘要
本发明涉及一种类富勒烯碳基复合薄膜及其制备方法，属于表面工程技术领域。本发明所述的复合薄膜中，采用碳膜作为过渡层，而且碳膜中的sp2键含量逐渐减少，sp3键含量逐渐增多，使过渡层硬度逐渐从接近基体到接近类富勒烯碳基层过渡，该复合薄膜具有硬度高、结合力好以及良好的耐磨损性能。本发明采用直流‑射频等离子体增强化学气相沉积技术制备，通过独立控制等离子体的密度及其能量，实现对类富勒烯碳基复合薄膜微结构的控制，克服了直流或射频等离子体增强化学气相沉积类富勒烯碳基薄膜等离子体能量和密度不能独立控制的不足。
基本信息
专利标题 ：
一种类富勒烯碳基复合薄膜及其制备方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN111286717A
申请号 ：
CN201911363974.5
公开（公告）日 ：
2020-06-16
申请日 ：
2019-12-26
授权号 ：
CN111286717B
授权日 ：
2022-06-03
发明人 ：
冯兴国周晖张凯锋郑军郑玉刚万志华刘兴光
申请人 ：
兰州空间技术物理研究所
申请人地址 ：
甘肃省兰州市城关区渭源路97号
代理机构 ：
北京理工大学专利中心
代理人 ：
周蜜
优先权 ：
CN201911363974.5
主分类号 ：
C23C16/26
IPC分类号 ：
C23C16/26 C23C16/517
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IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/22
以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C16/26
仅沉积碳
法律状态
2022-06-03 ：
授权
2020-07-10 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : C23C 16/26
申请日 : 20191226
申请日 : 20191226
2020-06-16 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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