一种记忆合金弹簧驱动的微小型隔膜泵及采用其的装置，该微小型隔膜泵包括外壳、泵膜片装置和记忆合金弹簧；其中：外壳内部形成空腔；泵膜片装置将外壳内部的空腔至少隔为第一空腔和第二空腔；记忆合金弹簧设置在第一空腔内且其两端分别与泵膜片装置和外壳内壁连接，记忆合金弹簧上连接有用于加热记忆合金弹簧的加热装置；第一空腔的外壳上设有进口和出口。记忆合金弹簧伸缩驱动的微小型隔膜泵利用了形状记忆合金弹簧形变可以积累的特点，相对于膜片式记忆合金泵来说可获得更大的流量，同时也克服了小型的电动机叶轮泵无法泵送汽液两相流体以及叶轮泵存在较大噪音的缺点。