一种微型器件补充装置及补充系统
专利权的终止
摘要
本实用新型公开了一种微型器件补充装置及补充系统，属于电子制造领域。针对现有技术中存在的微型器件在转移后检测和补充困难的问题，本实用新型提供了一种微型器件补充装置及补充系统，本方案通过电场转移技术，可以实现小尺寸的微型器件的巨量转移和补充，通过对转移后的基板进行检测，获得对应的不良微型器件位置，通过控制系统传送至对应的补充系统以及去除系统，且通过进行不良位置的器件去除，并进行相应的补充，准确率好，可以完成整条产业的顺利和自动化转移，成本低，效率高。
基本信息
专利标题 ：
一种微型器件补充装置及补充系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920406221.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-03-27
授权号 ：
CN209607720U
授权日 ：
2019-11-08
发明人 ：
韩进龙
申请人 ：
韩进龙
申请人地址 ：
江苏省南京市玄武区相府营24号402室
代理机构 ：
安徽知问律师事务所
代理人 ：
王亚军
优先权 ：
CN201920406221.7
主分类号 ：
H01L21/683
IPC分类号 ：
H01L21/683 H01L21/66 H01L21/67 H01L33/48
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/683
用于支承或夹紧的
法律状态
2021-03-12 ：
专利权的终止
未缴年费专利权终止IPC(主分类) : H01L 21/683
申请日 : 20190327
授权公告日 : 20191108
终止日期 : 20200327
申请日 : 20190327
授权公告日 : 20191108
终止日期 : 20200327
2019-11-08 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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