光伏电池片生产用PECVD石墨舟
授权
摘要
本实用新型涉及石墨技术领域，且公开了光伏电池片生产用PECVD石墨舟，包括卡体，所述卡体的顶部开设有数量为十个的固定槽，所述固定槽的内部固定安装有石墨舟片，所述卡体和石墨舟片正面的顶部和底部均开设有固定孔。该光伏电池片生产用PECVD石墨舟，通过卡体顶部的固定槽，使石墨舟片各舟片之间的距离分布均匀，也使石墨舟片固定的更加稳定，通过固定孔使石墨舟片通过陶瓷棒进行连接，通过分距套使石墨舟片之间的距离更加精准，在硅板放入的时候，经过压板候使弹簧块收缩，放到卡块顶部的卡槽内部将其固定，再通过弹簧块带动保护板压在硅板上，将其双重固定，避免其产生摇晃，达到了镀膜均匀的目的。
基本信息
专利标题 ：
光伏电池片生产用PECVD石墨舟
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920409008.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-03-28
授权号 ：
CN209759581U
授权日 ：
2019-12-10
发明人 ：
马建军
申请人 ：
嵊州市西格玛科技有限公司
申请人地址 ：
浙江省绍兴市嵊州市仙岩镇个体工业集聚区
代理机构 ：
成都明涛智创专利代理有限公司
代理人 ：
王巍敏
优先权 ：
CN201920409008.1
主分类号 ：
C23C16/458
IPC分类号 ：
C23C16/458 H01L31/18 H01L21/673
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/44
以镀覆方法为特征的
C23C16/458
在反应室中支承基体的方法
法律状态
2019-12-10 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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