一种平板式PECVD设备自适应微波天线紧密耦合装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种平板式PECVD设备自适应微波天线紧密耦合装置，包括天线及两根分设于天线两端的连接棒，所述连接棒一端插入所述天线内，所述连接棒插入所述天线内的一端设有球形凸部及至少一条分隔槽，使端部形成爪式弹性结构，所述球形凸部与所述天线的内壁紧密贴合。本实用新型具有结构简单、易于拆装、可靠性好、有利于减少微波功率衰减等优点。
基本信息
专利标题 ：
一种平板式PECVD设备自适应微波天线紧密耦合装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920424729.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-03-29
授权号 ：
CN209785873U
授权日 ：
2019-12-13
发明人 ：
张威陈特超陈国钦唐电苏卫中李建志
申请人 ：
中国电子科技集团公司第四十八研究所
申请人地址 ：
湖南省长沙市天心区新开铺路1025号
代理机构 ：
湖南兆弘专利事务所(普通合伙)
代理人 ：
周长清
优先权 ：
CN201920424729.X
主分类号 ：
H01J37/32
IPC分类号 ：
H01J37/32 H01Q1/22 H01Q1/12 C23C16/511
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/32
充气放电管
法律状态
2019-12-13 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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