微机电泵
授权
摘要
一种微机电泵，包含：第一基板；第一氧化层，具有汇流通道及汇流腔室；第二基板，结合至第一基板，包含：硅芯片层，具有：致动部，呈圆形，具有极限应力值及作动应力值；外周部，呈中空环状，环绕于致动部的外围；连接部，位于致动部与外周部之间；以及流体通道，环绕于致动部的外围，且位于连接部之间；第二氧化层，形成于硅芯片层上，并与硅芯片层定义振动腔室；硅材层，呈圆形，位于第二氧化层且结合至第一氧化层；以及压电组件，呈圆形，设于致动部，具有压电应力值；其中极限应力值大于作动应力值，作动应力值大于压电应力值。
基本信息
专利标题 ：
微机电泵
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920426268.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-03-29
授权号 ：
CN209959441U
授权日 ：
2020-01-17
发明人 ：
莫皓然余荣侯张正明戴贤忠廖文雄黄启峰韩永隆郭俊毅
申请人 ：
研能科技股份有限公司
申请人地址 ：
中国台湾新竹市科学园区研发二路28号1楼
代理机构 ：
上海专利商标事务所有限公司
代理人 ：
喻学兵
优先权 ：
CN201920426268.X
主分类号 ：
F04B43/04
IPC分类号 ：
F04B43/04 F04B45/047
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F04
液体变容式机械；液体泵或弹性流体泵
F04B
液体变容式机械；泵
F04B
液体变容式机械；泵
F04B43/00
具有柔性工作元件的机械、泵，或泵送装置
F04B43/02
具有板状柔性件，例如隔膜
F04B43/04
具有电气驱动的泵
法律状态
2020-01-17 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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